滑閥式真空泵主要由泵體及內(nèi)部作偏心轉(zhuǎn)動(dòng)的滑閥,、半圓形的滑閥導(dǎo)軌、排氣閥、軸等部分組成,。泵體中裝有滑閥環(huán)，滑閥環(huán)內(nèi)裝有偏心輪,，偏心輪固定在軸上,，軸與泵體中心線相重合。在滑閥環(huán)上裝有長(zhǎng)方形的滑閥桿,，它能在半圓形滑閥導(dǎo)軌中上下滑動(dòng)及左右擺動(dòng),，因此泵腔被滑閥環(huán)和滑閥桿分隔成a、b兩室,。泵在運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中,，由于a、b兩室容積周期性地改變,，使被抽氣體不斷進(jìn)入逐漸增大容積的吸氣腔;同時(shí),，在排氣腔隨著其容積的縮小而使氣體受壓縮，并通過(guò)排氣閥排出泵外,。
雙級(jí)型的滑閥泵,，實(shí)際上是由兩個(gè)單級(jí)泵串聯(lián)起來(lái)的。它的高,、低真空室在同一泵體上,，有的是直接鑄成一個(gè)整體，有的是壓入中隔板把泵腔分成高,、低兩室,。
滑閥式真空泵由于它的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)，一般分為單級(jí)泵和雙級(jí)泵兩種,，但也有有立式和臥式兩種結(jié)構(gòu)形式,。隨著現(xiàn)今科技的發(fā)展，滑閥式機(jī)械真空泵也受到了較大的改革，它的使用也更加的使用與方便,。進(jìn)一步研究它的工作原理對(duì)于之后相關(guān)方面技術(shù)的改進(jìn)和提升勢(shì)必有益,。