羅茨泵是一種是一種無(wú)內(nèi)壓縮的真空泵，通常壓縮比很低,，故高,、中真空泵需要前級(jí)泵。也稱為羅茨真空泵,，是旋轉(zhuǎn)式容積真空泵,。其結(jié)構(gòu)形式是由羅茨鼓風(fēng)機(jī)演變而來(lái)的,。它于1944年首先出現(xiàn)于德國(guó)，是為適應(yīng)在10 ～ 1000Pa 壓力范圍內(nèi)具有大抽速的真空熔煉系統(tǒng)而作為機(jī)械增壓泵使用,。
根據(jù)羅茨真空泵工作壓力范圍的不同,，分為直排大氣的低真空羅茨泵；中真空羅茨泵 ( 機(jī)械增壓泵 ) 和高真空多級(jí)羅茨泵,。國(guó)內(nèi)用量最多的為中真空羅茨泵,。羅茨真空泵與其它油封式真空泵相比有以下特點(diǎn)：
1、在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速,；
2,、轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對(duì)稱性，故振動(dòng)小,，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn),。轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)子和殼體間均有間隙，不用潤(rùn)滑,，摩擦損失小,，可大大降低驅(qū)動(dòng)功率，從而可實(shí)現(xiàn)較高轉(zhuǎn)速,；
3,、泵腔內(nèi)無(wú)需用油密封和潤(rùn)滑，可減少油蒸氣對(duì)真空系統(tǒng)的污染,；
4,、泵腔內(nèi)無(wú)壓縮，無(wú)排氣閥,。結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,、緊湊，對(duì)被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感,；
5、壓縮比較低,，對(duì)氫氣抽氣效果差,；
6、轉(zhuǎn)子表面為形狀較為復(fù)雜的曲線柱面,，加工和檢查比較困難,。羅茨真空泵近幾年在國(guó)內(nèi)外得到較快的發(fā)展。在冶煉,、石油化工,、電工、電子等行業(yè)得到了廣泛的應(yīng)用,。