擴(kuò)散真空泵是應(yīng)用最廣的真空空氣設(shè)備,，迅達(dá)真空泵中的油擴(kuò)散真空泵在國內(nèi)的生產(chǎn)、研究方面已經(jīng)達(dá)到相對的技術(shù)水平和生產(chǎn)規(guī)模,，廣泛應(yīng)用與機(jī)械,、電子等工業(yè)領(lǐng)域,。而極限壓力和抽速是檢測擴(kuò)散真空泵的能耗主要標(biāo)準(zhǔn)，以下介紹一套專門為測試其極限壓力和抽速的自動測試系統(tǒng)原理介紹,。
該套測試系統(tǒng)對擴(kuò)散泵的極限壓力和不同入口壓力下的抽速曲線的測試原理與方法,，完全參照相關(guān)國家標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定執(zhí)行。其中擴(kuò)散泵抽速曲線的自動檢測,，采用“定壓法”原理測試,。對應(yīng)每一個測壓點(diǎn)的測試步驟是：在工作閥開啟的條件下,，利用針閥調(diào)節(jié)充入測試罩的氣體流量Q，使測試罩內(nèi)的平衡壓力p穩(wěn)定在預(yù)期的壓力值附近,；關(guān)閉工作閥,，依次記錄滴管內(nèi)液柱到達(dá)液位高度h1和h2的時間t1和t2；通過計算液柱凈升高度h=h2-h1和上升所需時間t=(t2-t1),，利用下式求得對應(yīng)壓力下的體積流率,，即抽速。
S=Q/P=Kh/Pt
式中S---被測真空泵抽氣速率,，L/s
Q---流過泵口的氣體流量,，Pa·L/s
p---測試罩內(nèi)規(guī)定位置的平衡壓力，Pa
h---滴管內(nèi)液柱上升凈高度,，mm
t---滴管內(nèi)液柱上升所需時間,，s
K---滴管函數(shù)，Pa·L/mm,。
根據(jù)上述公式可知：要想計算出抽速S,，需要已知對應(yīng)測壓點(diǎn)的K、h,、p和t,。其中，滴管函數(shù)K可以根據(jù)不同的滴管和連接管道尺寸,，結(jié)合實(shí)際的測試工況事先計算出來,；因此，實(shí)際需要讀取的只有測試罩指定位置平衡壓力p,、滴管內(nèi)液柱凈升高度h和液柱凈升高度h所需時間t三個量,。該套測試系統(tǒng)所具有的自動測試功能，主要是指工作閥采用電磁閥自動開啟關(guān)閉,；針閥完成流量調(diào)節(jié)的過程采用步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動，并根據(jù)罩內(nèi)實(shí)測壓力與預(yù)設(shè)壓力的對比進(jìn)行反饋控制,；利用光電液位開關(guān)測定滴管內(nèi)液位到達(dá)設(shè)定位置h1和h2高度處的時間t1和t2,。整個測試過程，以及之后的抽速計算,、結(jié)果輸出工作,，均由計算機(jī)自動控制完成，只是在更換滴管和連接管路的過程中需要操作人員手工作業(yè),。