自1909年蓋德(W．Gaede)發(fā)明旋片泵并取得德國專利,，1936年又發(fā)明氣鎮(zhèn)泵，1941年取得專利以來,，旋片真空泵得到廣泛應用和不斷完善,。60年代末，國際上出現(xiàn)了提高轉(zhuǎn)速,，直聯(lián)的小型化趨勢,，70年代初出現(xiàn)了直聯(lián)系列產(chǎn)品，到80年代初,，又推出了改進的系列產(chǎn)品,，有多種可供用戶選配的附件，可以保護泵,，或保護環(huán)境，泵本身結(jié)構(gòu)也有改進而使可靠性提高,。
在泵的結(jié)構(gòu)方面,，為了能在停泵時防止返油，有的設(shè)有能自動切斷油路的止回閥,，有的設(shè)有進氣通道截止閥,，有的為了能在泵開氣鎮(zhèn)運轉(zhuǎn)突然停電時自動切斷氣路來保持泵口處于真空狀態(tài)而設(shè)有油泵和控制結(jié)構(gòu)。在附件方面,，有消霧器,、氣味過濾器、阻擋碎玻璃等雜物用的人口過濾器,、灰塵過濾器,、蒸汽凝結(jié)阱、化學阱,，有控制泵溫以提高水蒸氣抽除率和保護泵的溫控水量調(diào)節(jié)閥,。到了80年代末，90年代初,，又推出了油過濾器,、能監(jiān)視油溫、油壓,、油質(zhì)等的電子顯示器,，甚至可以與計算機聯(lián)結(jié)，進行自動控制,，采用強制潤滑和風冷,，使泵的連續(xù)工作入口壓力達10kPa，甚至更高,，同一臺泵的適用范圍因而更大,。