據(jù)迅達(dá)真空泵了解,，目前國(guó)內(nèi)真空行業(yè)使用的大多數(shù)機(jī)械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流體充當(dāng)泵的工作介質(zhì),，在泵內(nèi)起冷卻、密封,、潤(rùn)滑等多種作用。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展以及真空應(yīng)用領(lǐng)域的擴(kuò)大,，原有的機(jī)械真空泵及其組成的抽氣系統(tǒng)出現(xiàn)了兩個(gè)急需解決問(wèn)題：一是泵的工作介質(zhì)返流污染被抽容器,，而這種返流在許多情況下影響產(chǎn)品的質(zhì)量、數(shù)量,，增加設(shè)備的維護(hù)成本,。其次，由于某些工藝過(guò)程中的反應(yīng)物質(zhì)使真空泵內(nèi)的介質(zhì)嚴(yán)重變質(zhì),，使泵不能正常工作,。
對(duì)于普通的無(wú)油真空系統(tǒng)來(lái)說(shuō)，雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來(lái)防止返流,，但不能徹底解決問(wèn)題,，而且使系統(tǒng)顯得復(fù)雜。而使用適當(dāng)型式的干式機(jī)械真空泵,，則可以達(dá)到理想的使用效果,。
干式機(jī)械真空泵的應(yīng)用是廣泛的，主要有以下幾個(gè)方面：
一,、低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;
二,、半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;
三,、除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝,，不希望微粒混入泵油中,，而希望微粒排出泵外,，則用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿足要求;
四、在化學(xué)工業(yè),、醫(yī)藥工業(yè),、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥,、脫泡,、包裝等，要防止有機(jī)溶劑造成污染,，適合用干式真空泵;
五,、用做一般無(wú)油清潔真空系統(tǒng)的前級(jí)泵，以防止油污染,。
近年來(lái),，干式機(jī)械真空泵得到迅速的發(fā)展，國(guó)外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵。國(guó)內(nèi)的許多單位也一直在進(jìn)行干式機(jī)械真空泵的開發(fā)研制工作,。目前,，干式機(jī)械真空泵主要分為接觸型及非接觸型。接觸型的干式泵有葉片式,、凸輪式,、往復(fù)活塞式、膜片式等,，這類泵的速度較低,，適用于小容量高壓縮比(單級(jí)壓縮比)。非接觸型的干式泵有羅茨型,、爪型,、螺桿型、渦旋型等,，其速度較高,，適用大容量，低壓縮比(指單級(jí)壓縮比),。不同類型的干式泵具有各自的特點(diǎn),。迅達(dá)真空泵廠提醒使用時(shí)必須根據(jù)不同的用途進(jìn)行選擇。