據迅達真空泵了解,，目前國內真空行業(yè)使用的大多數機械真空泵都是用油,、水或其它聚合物等流體充當泵的工作介質，在泵內起冷卻,、密封,、潤滑等多種作用。隨著科學技術的發(fā)展以及真空應用領域的擴大,，原有的機械真空泵及其組成的抽氣系統出現了兩個急需解決問題：一是泵的工作介質返流污染被抽容器,，而這種返流在許多情況下影響產品的質量、數量,，增加設備的維護成本,。其次，由于某些工藝過程中的反應物質使真空泵內的介質嚴重變質,，使泵不能正常工作,。
對于普通的無油真空系統來說,，雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來防止返流，但不能徹底解決問題,，而且使系統顯得復雜,。而使用適當型式的干式機械真空泵，則可以達到理想的使用效果,。
干式機械真空泵的應用是廣泛的,，主要有以下幾個方面：
一、低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;
二,、半導體刻蝕工藝,。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;
三、除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝,，不希望微�,；烊氡糜椭校Ｍ⒘Ｅ懦霰猛�,，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求;
四,、在化學工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè),、食品工業(yè)中的蒸餾,、干燥、脫泡,、包裝等,，要防止有機溶劑造成污染，適合用干式真空泵;
五,、用做一般無油清潔真空系統的前級泵,，以防止油污染。
近年來,，干式機械真空泵得到迅速的發(fā)展,，國外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵。國內的許多單位也一直在進行干式機械真空泵的開發(fā)研制工作,。目前,，干式機械真空泵主要分為接觸型及非接觸型。接觸型的干式泵有葉片式,、凸輪式,、往復活塞式、膜片式等,，這類泵的速度較低,，適用于小容量高壓縮比(單級壓縮比)。非接觸型的干式泵有羅茨型,、爪型,、螺桿型,、渦旋型等，其速度較高,，適用大容量,，低壓縮比(指單級壓縮比)。不同類型的干式泵具有各自的特點,。迅達真空泵廠提醒使用時必須根據不同的用途進行選擇,。