一,、變?nèi)菡婵毡?/div>
據(jù)迅達真空泵的了解,,變?nèi)菡婵毡盟抢帽们蝗莘e的周期變化來完成吸氣和排氣以達到抽氣目的的真空泵。氣體在排出泵腔前被壓縮,。這種泵分為往復(fù)式及旋轉(zhuǎn)式兩種,。
(一)、往復(fù)式真空泵
利用泵腔內(nèi)活塞往復(fù)運動,,將氣體吸入,、壓縮并排出,。又稱為活塞式真空泵。
(二),、旋轉(zhuǎn)式真空泵
利用泵腔內(nèi)轉(zhuǎn)子部件的旋轉(zhuǎn)運動將氣體吸入,、壓縮并排出。它大致有如下幾種分類:
1,、油封式真空泵:它是利用真空泵油密封泵內(nèi)各運動部件之間的間隙,,減少泵內(nèi)有害空間的一種旋轉(zhuǎn)變?nèi)菡婵毡谩_@種泵通常帶有氣鎮(zhèn)裝置,。它主要包括旋片式真空泵,、定片式真空泵、滑閥式真空泵,、余擺線真空泵等,。
2、液環(huán)真空泵:將帶有多葉片的轉(zhuǎn)子偏心裝在泵殼內(nèi),。當(dāng)它旋轉(zhuǎn)時,,把工作液體拋向泵殼形成與泵殼同心的液環(huán),液環(huán)同轉(zhuǎn)子葉片形成了容積周期變化的幾個小的旋轉(zhuǎn)變?nèi)菸艢馇�,。工作液體通常為水或油,,所以亦稱為水環(huán)式真空泵或油環(huán)式真空泵。
3,、干式真空泵:它是一種泵內(nèi)不用油類(或液體)密封的變?nèi)菡婵毡�,。由于干式真空泵泵腔�?nèi)不需要工作液體,因此,,適用于半導(dǎo)體行業(yè),、化學(xué)工業(yè)、制藥工業(yè)及食品行業(yè)等需要無油清潔真空環(huán)境的工藝場合,。
4,、羅茨真空泵:泵內(nèi)裝有兩個相反方向同步旋轉(zhuǎn)的雙葉形或多葉形的轉(zhuǎn)子。轉(zhuǎn)子間,、轉(zhuǎn)子同泵殼內(nèi)壁之間均保持一定的間隙,。
二、動量傳輸泵
它依靠高速旋轉(zhuǎn)的葉片或高速射流,,把動量傳輸給氣體或氣體分子,,使氣體連續(xù)不斷地從泵的入口傳輸?shù)匠隹凇K抢酶咚傩D(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動量傳輸給氣體分子,,使之獲得定向速度,從而被壓縮,、被驅(qū)向排氣口后為前級抽走的一種真空泵,。這種泵具體可分為:
1、牽引分子泵氣體分子與高速運動的轉(zhuǎn)子相碰撞而獲得動量,被驅(qū)送到泵的出口,。
2,、渦輪分子泵 靠高速旋轉(zhuǎn)的動葉片和靜止的定葉片相互配合來實現(xiàn)抽氣的。這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作,。
3,、迅達真空泵廠認(rèn)為復(fù)合分子泵它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)組合起來的一種復(fù)合型的分子真空泵。
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